Freeform700・Nanoform250 ultra grind

Freeform®TL

概要

XYZ軸の3つの直線軸をベースとし、スピンドル軸(C軸)とロータリー軸(B軸)が搭載された超精密5軸加工機です。複雑な要求にも高精度に対応が可能です。

*油静圧摺動面 リニアモーター駆動
*高剛性Hydroround B軸標準搭載
*スローツールサーボ加工による自由曲面加工に対応
*ミーリング加工用高速スピンドル搭載可能
*ファストツールサーボ搭載可能

装置の特長

特長1 全ての直線軸に油静圧摺動面+リニアモーター駆動を採用

XYZ軸のすべての直線軸に油静圧摺動面+リニアモーター駆動を採用。全ての軸が超精密駆動可能な仕様であり、複雑形状の高精度加工に対応可能です。

特長2 使いやすいユーザーインターフェース

弊社ユーザーインターフェース『UPX』はシンプルかつタッチパネルによる直感的な操作が可能。
64bitPC+リアルタイムOSによる高速処理にて最大2000ライン/secのNC制御が可能。

特長3 スローツールサーボ加工可能な超精密5軸加工機

スピンドルにC軸機能が標準搭載。ダイヤモンド旋削加工スローツールサーボによる自由曲面の加工が可能になります。

特長4 高速スピンドル搭載にてマイクロミーリングも可能

最大回転数50000rpmの高速スピンドルを搭載することにより、マイクロミーリング加工による微細溝の加工、急傾斜を持つレンズアレイの加工に対応が可能です。

機能・詳細

『UPx』ユーザーインターフェイス

  • ・ツールパス表示機能
  • ・リアルタイムモニタリング機能(フォローイングエラー、FFT解析)
  • ・スピンドルバランス解析機能
  • ・最大2000ライン/secの高速演算処理
  • ・電気マイクロメータ内蔵

工具情報登録用オプチカルツールセッター

  • ・光学式ビデオツールセットステーションの使用にて、加工段取り時間の大幅な短縮が可能。
  • ・ビデオモニターはユーザーインターフェース「UPx」に内蔵
  • ・UPxソフトウエアによる簡単な工具情報の登録が可能(9本まで登録可能)。

オプション

HydroRound B軸(ロータリーテーブル)・C軸(スピンドル割出軸)

標準搭載のB軸により、ダイヤモンドツールの定点加工が可能。工具寿命を大きく改善することが可能となります。また、バーチャルセンター機能を併用すれば、ロータリーテーブルの回転中心と工具先端を合わせこむ必要が無くなり、段取り時間の大幅な削減が可能となります。

C軸を追加することにより自由曲面の加工が可能になります。(スローツールサーボ加工)
また、ACT(Adaptive Control Technology)をさらに追加することにより、自由曲面の加工精度を大きく向上させることが可能です。

DIFFSYS(超精密加工用プログラム作成支援CAMソフト)

  • ・使いやすいユーザーインターフェイス
  • ・球面・非球面からあらゆる自由曲面まで対応
  • ・速度・加速度のシミュレーション計算可能。
    スローツールサーボ加工に大きく貢献。

ミリング加工用高速スピンドル

  • ・複雑な加工要求に対してマイクロミリング加工により幅広く対応
  • ・比較的SAGの深いレンズアレイ加工も可能
  • ・B軸を併用することにより、サンプル外周への溝加工も可能
  • ・最大回転速度50000pm

可能な加工プロセス

  • 2軸(XZ軸)コンタリング加工
  • 3軸(XZB軸)法線制御(ツールノーマル)コンタリング加工
  • XYZ軸ラスターフライカット加工
  • 3軸(XZC軸)スローツールサーボ(STS)自由曲面加工
  • マイクロミーリング加工
  • クロス・パラレル研削加工

事例

放物面形状のラスターフライカット加工
B軸を用いたパラレル研削加工
B軸を使用したXZB軸法線制御ダイヤモンド切削加工

仕様

スライドフルストローク X-350mm 、 Y-150mm 、Z-300mm
最大送り速度 3,000mm/min
最大回転半径 700mm
381mm(B軸使用時)
最大負荷荷重 HS-150=68kg
ワークスピンドル最高回転速度 HS-150=10,000rpm
ミリングスピンドル最高回転速度 SP75FF=15,000rpm
PI2.25=50,000rpm

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NanoformL1000

概要

宇宙開発用大口径ミラーに代表される大型かつ高精度な製品に対し、広い加工範囲と長いストロークにて適応が可能。目的に応じて5軸までの軸構成が可能で、高負荷用スピンドルの搭載も可能です。

*高分解能制御 0.032nmフィードバック分解能
*スピンドル耐荷重量102kg(HD-160使用時)
*加工後形状誤差0.1um以下
(75mm直径254mm半径サンプル加工時)
*Ra1nm以下の加工後表面粗さを達成
(無電解ニッケル加工時)

装置の特長

特長1 加工表面粗さ1nmSa以下の加工が可能

無電解ニッケル表面を推奨加工条件で加工した際の加工結果で1nmSa以下を達成。サンプル加工表面粗さの大幅な改善が可能です。

特長2 0.032nm(32ピコメートル)の高いフィードバック分解能

業界最高レベル32pm(ピコメートル)のフィードバック分解能が、高い表面粗さ精度に大きく貢献

特長3 使いやすいユーザーインターフェース

64bitPCにてリアルタイムOS(RTOS)QNXを採用。フルクローズドサーボコントロールにおけるタクトタイムを大幅に短縮。最大2000行/secのNCデータ処理を可能にします。

特長4 高パフォーマンスワークスピンドル(SP-150/HD-160)

HD-160ヘビーデューティースピンドル使用にて、大型で重量のある加工ワークにも十分に適応。加工時のスピンドルへの負荷に対する不安は無くなります。またHS150標準スピンドルは、軸回転精度15nm以下を実現し、さらに高品質な製品加工が期待できます。

機能・詳細

『UPx』ユーザーインターフェイス

  • ・ツールパス表示機能
  • ・リアルタイムモニタリング機能(フォローイングエラー、FFT解析)
  • ・スピンドルバランス解析機能
  • ・最大2000ライン/secの高速演算処理
  • ・電気マイクロメータ内蔵

工具情報登録用オプチカルツールセッター

  • ・光学式ビデオツールセットステーションの使用にて、加工段取り時間の大幅な短縮が可能。
  • ・ビデオモニターはユーザーインターフェース「UPx」に内蔵
  • ・UPxソフトウエアによる簡単な工具情報の登録が可能(9本まで登録可能)。

オプション

HydroRound B軸(ロータリーテーブル)・C軸(スピンドル割出軸)

B軸を追加することにより、ダイヤモンドツールの定点加工が可能。工具寿命を大きく改善することが可能となります。また、バーチャルセンター機能を併用すれば飛躍的に段取り時間を削減できます。

C軸を追加することにより自由曲面の加工が可能になります。(スローツールサーボ加工)
また、ACT(Adaptive Control Technology)をさらに追加することにより、自由曲面の加工精度を大きく向上させることが可能です。

DIFFSYS(超精密加工用プログラム作成支援CAMソフト)

  • ・使いやすいユーザーインターフェイス
  • ・球面・非球面からあらゆる自由曲面まで対応
  • ・速度・加速度のシミュレーション計算可能。
    スローツールサーボ加工に大きく貢献。

HD-160 (大型ワーク用高負荷対応スピンドル)

  • ・最大負荷102kg。大型のサンプルおよび治具の保持も安心
  • ・最大スピンドル回転数5000rpm
  • ・C軸搭載可能。大型自由曲面もスローツールサーボ加工で対応可能。

可能な加工プロセス

  • 2軸(XZ軸)コンタリング加工
  • 3軸(XZB軸)法線制御(ツールノーマル)コンタリング加工
  • 高速仕上げ加工(赤外線レンズ向け)
  • 3軸(XZC軸)スローツールサーボ(STS)自由曲面加工
  • マイクロミーリング加工
  • 高スループット生産プロセス

事例

大口径アルミニウムミラーのダイヤモンド切削加工
複数個サンプルの同時ダイヤモンド切削加工

C軸割出を使用したミーリング加工(真直度加工)

仕様

フィードバック分解能 0.032nm
スライドフルストローク 500mm
最大送り速度 4,000mm/min
最大回転半径 700mm
350mm(B軸使用時)
最大負荷荷重 HS-150=85kg
HD-160=102kg
スピンドル最高回転速度 HS-150=10,000rpm
HD-160=5,000rpm

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