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超精密加工機 - Freeform® X

  • 概要 +


    New Freeform X




    弊社の5軸小型超精密加工機「Freeform X」は、5軸中型超精密加工機「Freeform L」と4軸小型超精密加工機「Nanoform X」をベースに開発し、要求加工精度の高いダイヤモンド切削加工に適しています。

    • 防衛、セキュリティ、EUVビーム照射用の赤外線用光学部品
    • 次世代のヘッドウェアやモバイル機器に組み込まれた光学部品
    • 車載用の照明やヘッドアップディスプレイ(HUD)

    Freeform Xは、独自の様々な機能により、新たなアプリケーションの高度な要求に対応することができます:

    • 5軸の加工軸があることにより、様々な形状のものを加工出来ます。X軸とZ軸のストロークは、200mmで、Y軸のストロークは100㎜です。。
    • Freeform Xは、独自の様々な機能により、新たなアプリケーションの高度な要求に対応することができます
    • Freeform Xの設置面積は、2平方メートル以下なので、工場のスペースを有効に使用することが出来ます。
    • オプションのファストツールサーボ(FTS5000)とFastCAMソフトウェアと使用することにより、シンプルな形状から複雑形状のワークまで、形状精度、表面粗さ、うねり等の加工精度を高めつつ、このオプションを使用しない加工機と比較して、最大15倍の速さで加工することが可能です。
  • 主要な仕様 +


    加工精度 表面粗さ:1 nm Sa
    形状精度:0.1µm P-V
    プログラミング分解能 0.01 nm 直線軸
    0.0000001° 割出軸
    負荷容量 11 kg (25 lbs) @ 100 PSI
    ワークサイズ ~ 100mm
  • 技術仕様 +


    加工機ベースおよび制御 詳細
    加工機ベース 防塵処理済の天然グラナイト製定盤は、非常に長い期間、加工機を安定して使用できます。
    加工機のタイプ 5 軸の超精密 CNC 輪郭加工機
    除振 加工機本体は、二重構造をとり、TMC事業部製自動レベリング機能付エア式除振台を内蔵
    制御システム UPx™ 制御システム、オプションでAdaptive Control Technology(適応制御機能)も使用可能
    オペレーティングシステム QNX リアルタイムオペレーティングシステム
    プログラミング分解能 0.01nm 直線軸/ 0.00036 割出軸
    加工精度 表面粗さ (Sa) < 1.0 nm , 形状精度 (P-V) < 0 .1 µmpan>


    油静圧直線軸受 詳細
    タイプ リニアモーターを対称に配置した油静圧式直線軸
    ストローク X 軸:200mm (水冷)、Z軸:220 mm (水冷)、Y軸:100mm
    駆動方式 AC リニアモーター
    位置フィードバック分解能 8 pm (0.008 nm)


    回転 C 軸 HS 75高性能 スピンドル
    空気軸受けタイプ スロットタイプスラスト軸受
    モーター 完全ブラシレスモーター
    C 軸フィードバック分解能 0.018 arc sec
    C 軸位置精度 +/- 1 arc-sec


    回転 B 軸 HydroRound II 回転 B 軸、Hydrolock 付き
    タイプ 特許取得済みのBi-円錐形、自己補正、油静圧ベアリング
    位置フィードバック分解能 0.004 arc-sec
    駆動方式 ブラシレスDCモーター
    位置精度 +/- 1 arc-sec


    加工機設置条件
    使用電圧 208 +/-10% または 230 +/-10% VAC - 3.0 KVA 単相 - 50/60 Hz
    使用エア圧 通常:12 SCFM @100 PSIG
    加工機の設置面積 (W x L x H) 92cm x 215cm x 179cm