超精密レーザ援用切削加工機 - Nanoform® Xtc

小型ダイヤモンド切削加工機 - Nanoform® Xtc
  • 概要 +


    Micro-LAM社製レーザ援用切削加工装置を搭載した弊社加工機で、炭化タングステンの切削加工が可能な場合、研削加工する理由があるのでしょうか?
    切削加工は、研削加工に比べて、多くの利点があります。


    例えば、送り速度6㎜/min.で、弊社標準テストパーツを仕上げ加工する場合、1分もかかりません。さらに、切削加工は、正確(超精密)に加工できますので、複雑な回析 (kinoform) 金型の高速加工も可能です。

    本加工機では、形状精度150nm以下、面粗さ5nm以下で加工することが出来ます。研削加工と比較した場合、仕上げ加工の研磨加工で数時間を要していたことが、数分になります。また、赤外線レンズ用に使用される材料であるシリコン (Si)、硫化亜鉛 (ZnS)、フッ化カルシウム (CaF2)、ゲルマニウム (Ge)、およびセレン化亜鉛 (ZnSe)にもこの加工が有用であることが実証されています。現在、シリコンカーバイド (SiC)、サファイア、ガラス (BK7)等の材料に対してもこの加工方法の優位性を確認中です。

  • 主要な仕様 +


    炭化タングステンでの加工精度 表面粗さ: < 5 nm Sa
    形状精度: < 0.15 µm P-Vd>
    プログラミング分解能 0.01 nm 直線軸
    0.0000001° 割出軸
    最大負荷容量 136 kg (300 lbs。)@ 100 PSI
    標準ワークサイズ 直径 250 mm
  • 技術仕様 +


    加工機ベースおよび制御 詳細
    加工機ベース 防塵処理済の天然グラナイト製定盤は非常に長い期間加工機を安定して使用できます。
    加工機のタイプ 超精密2、3、または4 軸 CNC 輪郭切削加工機
    除振
    2重か構造で、自動レベリング機能を持つ TMC事業部製 MaxDamp® 除振台(オプションの PEPS® II-VX アクティブ式除振システムが利用可能です)
    制御システム UPx™ 制御システム、オプションでAdaptive Control Technology (適応制御機能)も使用可能
    オペレーティングシステム QNX リアルタイムオペレーティングシステム
    プログラミング分解能 0.01 nm 直線軸 / 0.0000001° 割出軸
    ファイル転送/ストレージ USB、CD、イーサネット、オンボードデータストレージバックアップ
    切削性能 表面粗さ < 5.0 nm Sa, Form Accuracy < 0 .15 µm P-V,
    10 mm 半径、15 mm 凸面球面、炭化タングステンテストパーツ

    油静圧直線軸 詳細
    タイプ 対称リニアモーター配置の油静圧式直線軸
    ストローク X および Z:220 mm (8.6 in.)
    最高送り速度 4,500 mm/min.(177 in./min.)
    駆動方式 リニアモーター
    位置フィードバック分解能 8 pm (0.008 nm)
    X 軸真直度 水平(必須方向):0.2 µm (8.0 µin.)
    全幅 0.05 µm 25 mm/(2.0 µin.)
    Z 軸真直度 水平(必須方向):0.2 µm (8.0
    in.) 全幅 0.05 µm 25 mm/(2.0 µin.)
    垂直真直度 0.375 µm (15 µin.) 全幅
    油静圧供給システム
    Hydro-7 スマートサーボ制御、低脈動ポンプ、オプションの温度制御
    ワークスピンドル/割出スピンドル 高速 HS 75 スピンドル 高性能 HS 150 スピンドル
    空気軸受けタイプ スロットタイプスラスト軸受 スロットタイプスラスト軸受
    材料 スチール製シャフト/青銅製ジャーナル スチール製シャフト/青銅製ジャーナル
    モーター 完全ブラシレスモーター 完全ブラシレスモーター
    最大負荷容量 45 kg (100 lbs。)@100 PSI 136 kg (300 lbs。)@100 PSI
    204 kg (450 lbs.)@150 PSI
    軸剛性 105 N/µm (600,000 lbs./in.) 230 N/µm (1,314,000 lbs./in.)
    半径方向剛性 35 N/µm (200,000 lbs./in.) 130 N/µm (743,600 lbs./in.)
    動作精度 軸方向/半径方向 ≤ 20 nm (0.8 µin.) 軸方向/半径方向 ≤ 15 nm (0.6 µin.)
    温調機オプション 液冷チラー +/- 0.1°C 精度 液冷チラー +/- 0.1°C 精度
    C 軸フィードバック分解能 0.018 arc-sec
    9,000 リニアエンコーダー
    0.010 arc-sec
    16,200 リニアエンコーダー
    C 軸位置精度 +/- 1 arc-sec +/- 1 arc-sec
    C 軸最大速度 4,000 RPM 2,000 RPM
    9,000 ラインエンコーダーでは 4,000 RPM
    ワークスピンドル最大速度 18,000 RPM 10,000 RPM


    加工機設置条件  
    使用電圧 加工機本体: 208 または 230 VAC - 3.0 KVA 単相 - 50/60Hz、
    LAM装置: 115 または 230 VAC – 1.5 KVA 単相 50/60 Hz µ-
    使用エア圧 通常:12 SCFM @100 PSIG
    加工機の設置面積 (W x L x H) 929 x 2152 x 1790 mm (36.6 x 84.8 x 70.5 in.)
  • アプリケーションノート +


    自動車ヘッドランプ成形用の高速レンズアレイ
    ニッケルメッキスチール上のレンズアレイの高速機械加工のデモ。

    Zレーザ援用加工での硫化亜鉛
    レーザ援用加工を使用して、ZnS の目に見えるかすみやプルアウトを低減することで改善された表面粗さと美観を示します。

    結晶物質 (CaF2) のマイクロミリング
    Freeform® TL 加工機と Levicron社製 フライス加工スピンドルを使ったフッ化カルシウムで加工可能な表面粗さと平坦性を示します。

    PEPS II-VX を使用した 3 軸 (XYZ) 加工
    アクティブ式除振システムのPEPS II-VXを 搭載した Freeform® L を支配している 3 軸で引き切加工時間、表面粗さ、および形状精度を示します。

    急勾配の Al 非球面に生じた表面粗さと精度
    Nanoform® X と HS150 ワーク維持スピンドルを使用して、急勾配のアルミニウム非球面で達成可能な表面粗さと形状精度を示します。

    赤外線シリコン回析レンズの加工
    15 の回析ゾーンがある赤外線シリコンレンズで、表面粗さ、形状精度、さらに絶対半径使用を満たすレンズを製造するための性能を示します。

    D ポケット
    より正確な標識化のために、レンズ成形の登録機能として使用される非軸対称 D ポケット用の主要な測定結果と加工データを示します。

    自動形状エラー補正
    機上計測と分析による放物線コンポーネントの自動形状エラー補正を示します。補正は 弊社 の空気軸受け LVDTの測定で行われました。

    高速ゲルマニウムレンズの加工
    形状精度や表面粗さを損なうことなく赤外線 (IR) ゲルマニウムの加工時間を短縮出来ます。

  • パンフレット +